簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "光譜儀".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="低能量電子槍"


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    薄膜製程與光電子能譜分析系統之設計、架設與初步測試
    • 化學工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 吳家祺 指導教授: 戴龑
    • 本研究主要為設計、組裝、測試真空製程及分析系統。此系統分為三部分,其一為前置樣品傳送腔體(Load-lock chamber),可快速傳送樣品進入其他腔體;其二為製程腔體,包含電子蒸鍍槍(Elect…
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    • 全文公開日期 2013/08/01 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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